型号

HVPF/G

HVPF/W

HVPF/M

极限真空度

6.67×10^-3Pa~6.67×10^-4Pa

压升率

0.67Pa/H

抽气系统

扩散泵/分子泵机组

真空测量系统

数显复合真空计

机械压力

0.5T~200T

加压方式

单向/双向

最高工作温度

石墨加热 2500℃

钨加热 2200℃

钼加热 1600℃

温控精度

±3℃

±3℃

±2℃

温区尺寸（可按客户要求定制）

Φ200×180mm

240×240×240mm

240×240×240mm

控制系统

PLC控制/手动

设备尺寸(L×W×H,mm)

（根据温区要求变化）

1400×1200×2500

2500×1500×2700

2500×1500×2700

用电需求

（按设备实际尺寸变化）

30KW，380V/3P/50Hz

60KW，380V/3P/50Hz

50KW，380V/3P/50Hz

设备特性

1.热电偶低温段控温，红外测温仪高温段控温自动转换

2.高温段自然冷却，低温段可充惰性气体快速冷却

3.压力控制系统PID调节，闭环控制

4.分子泵真空机组选配

5.进口优质石墨发热体和硬质碳毡

6.全不锈钢制造，整洁美观

7.触摸屏+PLC全自动控制系统